用于使用嵌入光纤光学器件及环氧树脂光学散射器的基板温度控制的装置、系统与方法

摘要

基板温度控制装置与电子器件制造系统提供像素型光式加热至处理腔室中的基板。处理腔室中的基板固持件可包括底板。底板具有顶表面，顶表面可具有多个空腔与连接至空腔的多个槽。光纤可接收在槽中，使得每一个空腔具有终止于空腔中的各自的光纤，以传送光至每一个空腔。一些或所有空腔可具有设置在空腔中的环氧树脂光学散射器，以散射由光纤所提供的光。上面可以放置基板的陶瓷板可接合至底板。可选地提供散热板于底板与陶瓷板之间。正如其它方面，还提供于电子器件制造系统中控制跨基板固持件的温度。