公开/公告号US10736182B2
专利类型
公开/公告日2020-08-04
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201514738448
发明设计人 MATTHEW BUSCHE;WENDELL BOYD JR.;TODD J. EGAN;GREGORY L. KIRK;VIJAY D. PARKHE;MICHAEL R. RICE;LEON VOLFOVSKI;
申请日2015-06-12
分类号H05B3/26;H01L21/67;H05B3/14;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:26:28