用探头步进扫描实现ArF准分子激光光强均匀性检测的方法

摘要

本发明是光学投影曝光光刻及设计或调试中采用探头步进扫描法实现对ArF准分子激光光强的均匀性分布情况的检测。由于每次检测的准分子激光光强空间分布不可以避免要受到激光脉冲时间不均匀性影响，因此在时序逻辑的控制下，在一定时间内同时测量一定数目的激光脉冲的总能量和扫描光场中各探测点的分能量，以分能量与总能量之比来衡量光强的均匀性分布情况。本发明具有检测精度高，检测参数可调，可满足不同精度要求的检测要求，实现脉冲激光光强均匀性检测，同时可用于需要对脉冲激光光强分布均匀性检测的其他领域。