制备OLED薄膜封装层的方法、OLED薄膜封装结构及OLED结构

摘要

本发明实施例公开了一种制备OLED薄膜封装层方法，包括步骤：在设置有OLED器件的基板上沉积第一无机材料膜层，所述第一无机材料膜层完全覆盖所述OLED器件；在所述第一无机材料膜层上通过等离子体增强化学气相沉积法工艺沉积第一有机材料膜层；在所述第一有机材料膜层上通过喷墨打印工艺沉积第二有机材料膜层；在所述第二有机材料膜层上沉积第二无机材料膜层。本发明还公开了相应的OLED薄膜封装结构以及OLED结构。实施本发明实施例，可以减小OLED薄膜封装层的厚度。