法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-01
授权
授权
2017-07-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L51/42 申请日:20151221
实质审查的生效
2017-07-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 51/42 申请日:20151221
实质审查的生效
2017-06-27
公开
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2017-06-27
公开
公开
2017-06-27
公开
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机译: 杂化有机-无机薄膜及其制备方法,包括杂化有机-无机薄膜的杂化有机-无机薄膜,功能性薄膜及其制备方法,包含杂化有机-无机薄膜的功能性薄膜及其制备方法网状结构的薄膜
机译: 有机-无机混合薄膜的沉积装置和使用相同的有机-无机混合薄膜的制造方法
机译: 有机/无机氧化物混合薄膜,使用其的内置有无源元件的电子基板以及有机/无机氧化物混合薄膜的制造方法