法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-03
专利权的转移 IPC(主分类):G02B13/00 登记生效日:20200615 变更前: 变更后: 申请日:20170925
专利申请权、专利权的转移
2019-09-24
授权
授权
2019-09-24
授权
授权
2018-01-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B13/00 申请日:20170925
实质审查的生效
2018-01-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B13/00 申请日:20170925
实质审查的生效
2018-01-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 13/00 申请日:20170925
实质审查的生效
2017-12-08
公开
公开
2017-12-08
公开
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2017-12-08
公开
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2017-12-08
公开
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机译: 折反射投影物镜本申请,2004年1月14日至2004年7月14日提交的美国临时专利申请第60/587号和2004年7月14日提交的美国临时专利申请第60 / 536,248号以及美国临时专利。 2004年10月13日504号美国临时专利申请(2004年7月27日提交)的第60 / 591,775号美国临时专利申请我要求美国60 //临时专利申请的优先权第24个月提交了612,823。美国临时专利申请的公开所有这些构成了本申请的描述的一部分。
机译: 紫外线光学系统的极短反射镜,紫外线光学系统的极短柱,紫外线光学系统的极短用途,紫外线光学系统的极短生产方法,紫外线极短的极曝光装置,极是紫外线曝光装置的短用途
机译: 超短波紫外线光学系统-使用反射镜,超短波紫外线光学系统,超短波紫外线光学系统的应用方法,超短波紫外线光学系统的生产方法,超短波紫外线光学曝光方法,系统-短紫外线展