公开/公告号CN100334694C
专利类型发明授权
公开/公告日2007-08-29
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海技术物理研究所;
申请/专利号CN200510029962.0
申请日2005-09-23
分类号H01L21/3065(20060101);
代理机构31213 上海新天专利代理有限公司;
代理人田申荣
地址 200083 上海市玉田路500号
入库时间 2022-08-23 08:59:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-11-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/3065 授权公告日:20070829 终止日期:20140923 申请日:20050923
专利权的终止
2007-08-29
授权
授权
2006-04-26
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-03-01
公开
公开
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