一种光学系统像面离焦量的检测方法

摘要

本发明实施例公开了一种光学系统像面离焦量的检测方法。本发明实施例中所提供的光学系统像面离焦量的检测方法，在干涉仪与光学系统齐焦光路的基础上，通过调整干涉仪使得其出射波前焦点不仅能准确落在光学系统像面的位置上，同时干涉仪出射波前会聚光和返回会聚光的主光线方向重合，从而拓展激光干涉仪的现有功能，能够准确的实现对光学系统像面离焦量的检测。进一步地，通过检测获得的离焦量可以评价光学系统的成像像质，从而提高光学系统装调效率和改善成像质量。