一种石墨烯/金属复合电极的碳纳米管器件的互连方法

摘要

本发明公开了一种石墨烯/金属复合电极的碳纳米管器件的互连方法，包括以下步骤：在衬底上设计并制备预图形化的金属薄膜电极；在图形化的金属薄膜电极之间装配碳纳米管；使与金属薄膜电极接触的碳纳米管两端被金属原子刻蚀，形成缺陷；使碳源分子被金属原子催化分解；使石墨烯与碳纳米管两端通过共价成键实现互连。本发明实现了石墨烯与指定碳纳米管特定位置，即对应电极之间的碳纳米管两端的共价连接，这不同于之前石墨烯与碳纳米管间随机的连接。载流子能够在石墨烯与碳纳米管之间良好地输运，降低了石墨烯与碳纳米管的接触电阻，降低了器件的功耗。同时，在预图形化的金属催化基底生长石墨烯，无需转移和刻蚀。