基于原子迁移定向调控的金属表面微结构制造方法与装置

摘要

本发明公开了基于原子迁移定向调控的金属表面微结构制造方法与装置。目前还没有利用原子迁移定向调控原理进行金属表面微结构制造的方法与装置。本发明通过脉冲电源对模板金属块和待加工金属块通电激发表面原子迁移，实现微结构的定向调控和位置重组；通过调节滑台对模板金属和待加工金属表面间距进行调控；通过高速摄像机与图像处理主机实现对微凸结构的检测；本发明是一种集微凸结构设计、表面微凸结构形核和生长过程外部环境调控的金属表面微凸结构制造装置，制造方法简便，使用环境安全，适用性较广。