化学气相淀积法含氟聚合物介电中间层

摘要

公开了在薄膜器件上形成含氟聚合物层的方法，包含使所述薄膜器件与气相含氟单体接触并用自由基聚合引发剂引发所述含氟单体的聚合，由此，所述含氟单体在所述薄膜器件上聚合成所述含氟聚合物层。