一种异质结薄膜的原位加电透射电镜截面样品的制备方法

摘要

本发明公开了一种异质结薄膜的原位加电透射电镜截面样品的制备方法，其包括如下步骤：一，除去异质结薄膜样品表面的杂质；二，在样品的上端面设置一层金属导电膜；三，在金属导电膜上贴上一片铜片；四，把样品切割成片状的样品；五，对片状的样品进行研磨减薄；六，通过离子减薄仪把样品减薄出一个弧形凹槽；七，样品转移到原位测试芯片上；八，利用聚焦离子束仪对样品的待电性能测试的膜层界面及铜片分别和原位测试芯片上的电性能测试电极及通电电极进行Pt层焊接，并对铜片和金属导电膜进行Pt层焊接；九，对样品切割出一个用于断开金属导电膜的缺口。本发明能够方便原位测试芯片对异质薄膜的截面样品进行电性能测试且操作方便。