基于杠杆传动的位移分辨率细化微纳操作平台

摘要

本发明公开了一种基于杠杆传动的位移分辨率细化微纳操作平台，包括基体,在基体的上方位置设有杠杆机构，杠杆朝向或者背向平台运动部分一侧为厚度变化一侧，杠杆靠近基体端的两侧各设有一个压块，且两个压块的中轴线位于杠杠厚度最大处；杠杆机构靠近平台运动部分端通过连杆与平台运动部分的边沿中心位置连接；位于杠杆上方的压块其远离杠杆一侧端面所对基体部分设有容纳预紧弹簧的圆形孔，圆形孔外端面与预紧螺母配合；位于杠杆下方压块的远离杠杆一侧端面所对基体部分设有容纳压电陶瓷致动器的圆形孔，圆形孔与压电陶瓷紧固螺母配合；平台运动部分通过平台导向机构与基体连接；平台运动部分与杠杆机构相对一侧中心位置连接有位移测量机构。