公开/公告号CN106676466B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-13
原文格式PDF
申请/专利号CN201710130929.X
申请日2017-03-07
分类号
代理机构北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人齐胜杰
地址 100081 北京市海淀区大柳树路2号
入库时间 2022-08-23 10:38:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-13
授权
授权
2019-07-05
著录事项变更 IPC(主分类):C23C 10/36 变更前: 变更后: 申请日:20170307
著录事项变更
2019-07-05
著录事项变更 IPC(主分类):C23C 10/36 变更前: 变更后: 申请日:20170307
著录事项变更
2017-10-17
专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C10/36 登记生效日:20170921 变更前: 变更后: 申请日:20170307
专利申请权、专利权的转移
2017-10-17
专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C10/36 登记生效日:20170921 变更前: 变更后: 申请日:20170307
专利申请权、专利权的转移
2017-10-17
专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 10/36 登记生效日:20170921 变更前: 变更后: 申请日:20170307
专利申请权、专利权的转移
2017-06-09
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C10/36 申请日:20170307
实质审查的生效
2017-06-09
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C10/36 申请日:20170307
实质审查的生效
2017-06-09
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 10/36 申请日:20170307
实质审查的生效
2017-06-09
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 10/36 申请日:20170307
实质审查的生效
2017-05-17
公开
公开
2017-05-17
公开
公开
2017-05-17
公开
公开
2017-05-17
公开
公开
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机译: 界面,一种在非真空环境下观察物体和扫描电子显微镜的方法
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