对象定位系统、控制系统、光刻设备、对象定位方法和器件制造方法

摘要

本发明涉及包括可移动对象、致动器系统和控制系统的对象定位系统。可移动对象相对于基准可移动。致动器系统被配置成在对象上的力施加位置处向对象施加力以便相对于基准移动可移动对象。控制系统被配置成相对于基准定位对象的兴趣点。控制系统被配置成基于表示力施加位置与兴趣点之间的空间关系的参数来驱动致动器系统。参数取决于表示对象相对于基准的位置的另外的参数。