一种基于EOM和PZT的光学共振腔的锁定装置

摘要

本发明提供了一种基于EOM和PZT的光学共振腔的锁定装置，在共振腔前光路上放置EOM1，通过EOM1给入射激光相位调制正弦信号，在共振腔内放入EOM2，并调节共振腔模式匹配，将入射腔镜的反射光强信号分成两路，分别和正弦信号混频后低通滤波，得到两路鉴频误差信号；将一路误差信号接入PID1，调节安装在共振腔镜上的压电陶瓷PZT，将共振腔锁定在激光输出透射峰上，将另一路误差信号接入PID2，将初步锁定的共振腔进一步优化锁定。本发明先用响应速度慢、锁定带宽较小的PZT将共振腔锁定，再用响应速度快、锁定带宽大的共振腔内EOM2优化锁定效果，共振腔的锁定带宽得到提高，输出光强的波动更小，共振腔的稳定性更高。