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一种具有原子氧防护功能的表面薄膜的设计及制备方法

摘要

本发明提供一种具有原子氧防护功能的表面薄膜的设计及制备方法,表面薄膜的设计采用组合膜层,其结构如下:AIR∣H

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-08-06

    授权

    授权

  • 2017-06-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/0216 申请日:20161228

    实质审查的生效

  • 2017-06-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/0216 申请日:20161228

    实质审查的生效

  • 2017-05-17

    公开

    公开

  • 2017-05-17

    公开

    公开

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