公开/公告号CN107039399B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-02
原文格式PDF
申请/专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司;
申请/专利号CN201610912553.3
申请日2016-10-20
分类号
代理机构北京德恒律治知识产权代理有限公司;
代理人章社杲
地址 中国台湾新竹
入库时间 2022-08-23 10:37:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-02
授权
授权
2017-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L23/538 申请日:20161020
实质审查的生效
2017-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 23/538 申请日:20161020
实质审查的生效
2017-08-11
公开
公开
2017-08-11
公开
公开
2017-08-11
公开
公开
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机译: 带有源供应的原子层沉积设备和使用该设备的原子层沉积方法
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