用于三维加速度计的磁悬浮体、磁悬浮结构及制造方法

摘要

本发明公开了一种用于三维磁悬浮加速度计的磁悬浮体、磁悬浮结构及制造方法,所述磁悬浮体采用六面体结构，其包括软磁材料的内层以及与内层固连的六面永磁层组成的外层，每个面上的永磁层通过充磁使其具有剩磁磁场且相对两个面的永磁层相向磁极极性相反；所述内层用于更好地导通六面永磁层的磁场和减少永磁层的退磁场。本发明磁悬浮体采用六面体结构，在软磁内层固连设置六面永磁层的方式实现六面带磁的悬浮体，能够实现六自由度悬浮，从而彻底克服了现有技术永磁悬浮体只能形成两面具有剩磁磁场的技术缺陷，使本发明的磁悬浮体能够在三维磁悬浮加速度计能够广泛应用。