法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-16
授权
授权
2018-02-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N17/00 申请日:20170921
实质审查的生效
2018-02-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 17/00 申请日:20170921
实质审查的生效
2018-01-19
公开
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2018-01-19
公开
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2018-01-19
公开
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机译: 在工作真空室中产生空心阴极电弧放电等离子体并通过减少流过空心阴极的气体流量来调节暴露于空心阴极电弧放电等离子体的物料蒸汽颗粒的方法
机译: 产生空心阴极等离子体的方法和使用空心阴极等离子体处理大面积基板的方法
机译: 空心阴极等离子体产生方法以及使用空心阴极等离子体的大面积基板处理方法