法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-19
授权
授权
2017-10-17
著录事项变更 IPC(主分类):C23C14/22 变更前: 变更后: 申请日:20160612
著录事项变更
2017-10-17
著录事项变更 IPC(主分类):C23C 14/22 变更前: 变更后: 申请日:20160612
著录事项变更
2017-05-17
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/22 申请日:20160612
实质审查的生效
2017-05-17
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/22 申请日:20160612
实质审查的生效
2017-05-17
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/22 申请日:20160612
实质审查的生效
2017-04-19
公开
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2017-04-19
公开
公开
2017-04-19
公开
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机译: 部分清洁物理气相沉积腔室的方法,该腔室能够防止金属沉积膜被中间层分离
机译: 烹饪设备,即用于加热食品的烤箱,具有加热腔室,该加热腔室从烹饪腔室中的空气流中吸取热量,在此存储热量并根据设备的工作阶段将存储的热量提供给烹饪腔室
机译: 通过将氩气和碳/氩气和氮气的混合物注入腔室中以获得例如钨的物理气相沉积工艺来喷涂涂覆有钽靶的腔室内的机械零件。碳化钽涂层