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液相激光烧蚀法制备纳米颗粒机理过程探测装置及方法

摘要

本发明公开了一种液相激光烧蚀法制备纳米颗粒机理过程探测装置,包括烧蚀激光器、分束装置、扩束装置、第一聚焦透镜、靶材、透明水槽、能量计、探测光激光器、第二聚焦透镜、第三聚焦透镜、光电探测器、示波器、照明激光器、衰减片、扩束装置、滤光片、CCD相机和脉冲延时触发器。本发明操作简单,用一个脉冲延时触发器控制所有仪器时序,实现光束偏转法和时间分辨阴影法的同步测量。本发明还公开了利用此探测装置的探测方法,创造性的综合了光束偏转法和时间分辨阴影法的优点,可以同步得到液相烧蚀过程序列图像又能得到具体细节波形数据,还创造性的利用光束偏转法测得的波形检测烧蚀烧蚀过程重复性,提高了时间分辨阴影法的准确度。

著录项

  • 公开/公告号CN105973808B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-07-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 南京理工大学;

    申请/专利号CN201610534589.2

  • 发明设计人 陈军;宋秀峰;张宏超;曾海波;

    申请日2016-07-08

  • 分类号

  • 代理机构南京苏创专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人张学彪

  • 地址 210094 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号

  • 入库时间 2022-08-23 10:36:37

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-07-12

    授权

    授权

  • 2016-10-26

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/01 申请日:20160708

    实质审查的生效

  • 2016-10-26

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/01 申请日:20160708

    实质审查的生效

  • 2016-09-28

    公开

    公开

  • 2016-09-28

    公开

    公开

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