一种用于高速曝光的质量平衡方法和装置

摘要

本发明公开一种用于高速曝光的质量平衡方法和装置；过并联的弹簧和阻尼系统进行减振，进而对高速扫描所产生的质量冲量进行平衡性消除，而弹簧和阻尼系统所产生的平衡位移可以通过检测获得，并最终反馈至驱动单元进行再次定位直至满足要求，进而提高曝光系统的运行速度和精度。本发明可建立一种高速、高频、高精度曝光的质量平衡装置。