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嵌入式芯片的电性连接端结构及其制法

摘要

本发明是一种嵌入式芯片的电性连接端结构及其制法,该结构包括:电性连接垫、沉积在该电性连接垫上的金属层、沉积在该金属层上的导电层以及以电镀方式沉积在该导电层上的电镀金属层;该制法是在嵌埋有芯片的电路板结构上形成绝缘层,且使该绝缘层形成多个开口,其中至少一开口对应该芯片的电性连接垫位置,外露出该电性连接垫,还在该芯片的电性连接垫上形成金属层,并在该金属层与该绝缘层及其开口表面形成导电层,接着在该导电层上形成图案化阻层,使该阻层形成多个开口,外露出后续要在其上沉积金属层的导电层部分,之后进行电镀工序,在显露于该图案化阻层的导电层上形成电镀金属层;本发明可有效缩短工序流程与时间,并可减少工序、降低成本。

著录项

  • 公开/公告号CN1333450C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2007-08-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 全懋精密科技股份有限公司;

    申请/专利号CN200410033861.6

  • 发明设计人 许诗滨;蔡琨辰;

    申请日2004-04-15

  • 分类号H01L21/60(20060101);H01L21/44(20060101);H01L23/48(20060101);

  • 代理机构11216 北京三幸商标专利事务所;

  • 代理人刘激扬

  • 地址 台湾省新竹市

  • 入库时间 2022-08-23 08:59:47

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2007-08-22

    授权

    授权

  • 2005-12-14

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-10-19

    公开

    公开

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