用于确定衬底上的涂层的屏障效应的方法和装置

摘要

本发明涉及一种针对介质（17）确定涂层（4）的屏障效应的方法，该方法的特征在于以下步骤：a）提供衬底（1），该衬底在其表面上具有该涂层（4），所述衬底在接触该介质（17）时经历体积变化；b）对具有该涂层（4）的该衬底（1）进行调节处理；c）从该衬底（1）的该表面（6）的第一部分中去除该涂层（4），将该涂层（4）留在该衬底（1）的该表面的第二部分上，该表面（6）的该第一部分在由保留在该表面的该第二部分上的该涂层（4）界定的第一方向上具有延伸物；d）在该第一方向上的路径上确定该涂层（4）的表面在该衬底（1）的该表面的该第二部分和该表面（6）的该第一部分上的第一高度轮廓；e）将该保留的涂层（4）的该表面和该衬底（1）的该表面（6）的该第一部分暴露至该介质（17）；f）在该第一方向上的该路径上确定该涂层（4）的该表面在该衬底（1）的该表面的该第二部分和该表面（6）的该第一部分上的第二高度轮廓，和/或在该第一方向上的该路径上确定该涂层（4）的该表面在该衬底（1）的该表面的该第二部分和该表面（6）的该第一部分上关于该之前确定的高度轮廓的第一高度轮廓差。