一种Au-Cu/Ag-Al纳米多层膜表面增强荧光基底及其应用

摘要

本发明公开了一种Au‑Cu/Ag‑Al纳米多层膜表面增强荧光基底及其应用，将载玻片清洗、吹干后备用；将Au‑Cu和Ag‑Al复合靶分别安装在直流阴极上，清洗后的载玻片装入样品台，开机，抽真空，然后通人氩气,打开溅射电源，交替溅射Au‑Cu和Ag‑Al，溅射完成，关闭溅射电源，停止通气，关分子泵，关电源,自然真空下冷却到室温，然后取出样品。本发明操作简单、环境友好、沉积速度快、效率高、生产成本低、易于批量生产的薄膜表面增强荧光基底，该薄膜是多层结构，通过在玻璃上交替沉积Au‑Cu和Ag‑Al制备，采用的仪器是普通的磁控溅射仪。