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一种集成式阻抗负载声表面波气体传感器

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摘要

本发明公开了一种基于Si衬底的集成式阻抗负载声表面波气体传感器，包括衬底、压电层、输入/输出叉指换能器、反射叉指换能器、敏感叉指电极和气敏薄膜。通过在Si衬底上生长一层薄的SiO

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1. 一种集成式阻抗负载声表面波气体传感器 [P] . 中国专利： CN106841383B . 2019.06.18
2. 一种集成式阻抗负载声表面波气体传感器 [P] . 中国专利： CN106841383A . 2017-06-13
3. A device for acoustic surface waves with an improved transmission band - characteristic and an improved degree of freedom for setting of input - and output impedances [P] . 德国专利： DE29624257U1 . 2001-06-28

机译：一种具有改善的传输频带特性和设置输入和输出阻抗的自由度提高的声表面波装置
4. Passive sensor a surface wave comprising an antenna integrated and applications medical using this type of passive sensor [P] . 法国专利： FR2925696B1 . 2011-05-06

机译：无源传感器一种表面波，包括集成了天线的表面波，并使用这种类型的无源传感器进行医疗应用
5. GAS DETECT SENSOR USING A SAW DEVICE TO IMPROVE THE SENSITIVITY OF GAS DETECTION AND TO REDUCE REACT TIME AND A SENSING METHOD FOR THE SAME [P] . 韩国专利： KR20100082956A . 2010-07-21

机译：使用声表面波装置改善气体检测灵敏度并减少反应时间的气体检测传感器及其传感方法