直接附着式声表面波气体传感器的灵敏度分析

摘要

分析了直接附着式声表面波气体传感器的灵敏度。运用分层介质理论,对压电基底表面附着液膜后液膜参数变化所引起的频率变化进行分析,给出了相应的计算结果;然后计算了在500 MHz工作频率、考虑液膜轻度粘滞性时,声表面波气体传感器的检测下限,结果为10-9量级;最后将计算结果与实验结果进行比较并得到验证。