光栅波前倾斜色散补偿装置

摘要

一种光栅波前倾斜色散补偿装置，该装置包括第一闪耀光栅、Offner光学系统和第二闪耀光栅或直角反射镜。本发明补偿了光栅角度色散效应引起的时间展宽和空间展宽，确保光束到达工作面上光束的时空色散为零。与传统的基于光栅波前倾斜获得技术相比，从根本上消除了光栅角色散效应对波前倾斜技术应用效果的影响。