一种三元掺杂纳米复合多层类金刚石涂层及其制备方法和应用

摘要

本发明属于表面防护技术及相关涂层材料技术领域，公开了一种三元掺杂纳米复合多层类金刚石涂层及其制备方法和应用。该涂层由碳元素、碳化物形成金属元素、弱碳化物形成金属元素和非金属元素组成。涂层中，碳元素以无定形碳形式存在，形成无定形碳网络结构；碳化物形成金属元素与碳元素结合形成碳化物相；弱碳化物形成金属元素以固溶体状态存在；非金属元素原子取代无定形碳网络结构中的碳原子位置，参与构建网络结构；利用掺杂元素自身的扩散能力，通过调节支架旋转速度，控制涂层在每一个旋转生长周期内的掺杂量，在涂层中形成掺杂量高的类金刚石层(富掺杂层)与掺杂量低的类金刚石层(贫掺杂层)交替多层结构。