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利用改良成像气体的电子束显微镜及使用方法

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摘要

本发明利用用改良的成像气体的气体放大提供带电粒子束成像和检测系统。系统包括用于引导带电荷粒子束到工件的带电粒子束源、用于带电粒子聚焦到工件上的聚焦透镜和用于加速通过带电粒子束或另一种气体级联检测方案从工件照射产生的二次电子的电极。气体成像在用于封闭包含CH

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1. 利用改良成像气体的电子束显微镜及使用方法 [P] . 中国专利： CN106169406B . 2019.06.04
2. 利用改良成像气体的电子束显微镜及使用方法 [P] . 中国专利： CN106169406A . 2016-11-30
3. Electron beam microscope with improved imaging gas and method of use [P] . 美国专利： US9633816B2 . 2017-04-25

机译：具有改进的成像气体的电子束显微镜及其使用方法
4. ELECTRON BEAM MICROSCOPE WITH IMPROVED IMAGING GAS AND METHOD OF USE [P] . 美国专利： US2016343537A1 . 2016-11-24

机译：成像气体得到改善的电子束显微镜及其使用方法
5. ELECTRON BEAM MICROSCOPE WITH IMPROVED IMAGING GAS AND METHOD OF USE [P] . 日本专利： JP2016219412A . 2016-12-22

机译：成像气体得到改善的电子束显微镜及其使用方法