一种基于交变电场的差极反射型绝对式时栅角位移传感器

摘要

本发明公开了一种基于交变电场的差极反射型绝对式时栅角位移传感器，包括转子基体和定子基体，转子基体下表面设有感应电极Ⅰ、反射电极Ⅰ、反射电极Ⅱ和感应电极Ⅱ，感应电极Ⅰ、Ⅱ分别与反射电极Ⅰ、Ⅱ相连；定子基体上表面设有激励电极Ⅰ、接收电极Ⅰ、接收电极Ⅱ和激励电极Ⅱ，先对激励电极Ⅱ的四个激励相分别施加四路激励信号，此时激励电极Ⅰ不工作，在接收电极Ⅱ上输出第一路差动正弦行波信号，然后将四路激励信号切换到激励电极Ⅰ的四个激励相，此时激励电极Ⅱ不工作，在接收电极Ⅰ上输出第二路差动正弦行波信号。该传感器以相对简单的分时处理方式便能实现高精度绝对角位移测量，转子无需引线，工业适应性更强。