公开/公告号CN105784752B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-28
原文格式PDF
申请/专利权人 新奥科技发展有限公司;
申请/专利号CN201610270655.X
申请日2016-04-27
分类号
代理机构北京中博世达专利商标代理有限公司;
代理人申健
地址 065001 河北省廊坊市经济技术开发区华祥路新奥科技园南区B座522室
入库时间 2022-08-23 10:33:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-28
授权
授权
2016-08-17
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N25/02 申请日:20160427
实质审查的生效
2016-08-17
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 25/02 申请日:20160427
实质审查的生效
2016-07-20
公开
公开
2016-07-20
公开
公开
机译: 消耗量测定装置,温度测定装置,消耗量测定方法,温度测定方法以及基板处理系统
机译: 膜厚测定装置,表面温度测定装置,膜厚测定方法及表面温度测定方法
机译: 反射率测定装置,温度测定装置以及基板热处理装置以及反射率测定方法,温度测定方法以及基板热处理方法