基于纳米复制成型的光子晶体纳米流体传感器及制备方法

摘要

本发明公开了一种基于纳米复制成型的光子晶体纳米流体传感器及制备方法，该传感器包括光子晶体结构和光学透明覆盖层，光子晶体结构包括玻璃基底、由紫外线固化物所形成的低折射率光栅层和沉积在所述光栅层上的高折射率材料层；该方法包括：制备具有光栅周期结构的石英光栅母模板；在载玻片上旋涂紫外线固化物；加热石英光栅母模板，并在光栅凹槽内滴入剥离胶，然后将载玻片覆盖在石英光栅母模板上并固化；在载玻片背面粘贴盖玻片；在光栅层上沉积高折射率材料获得高折射率材料层；在材料层表面粘贴光学透明覆盖层以使两者键合，学透明覆盖层与光栅凹槽之间形成纳米流体通道。本发明具有制备简洁快速，制作精度高、成本低的特点，且适合于大批量生产。