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法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-11
授权
授权
2016-11-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/11 申请日:20141210
实质审查的生效
2016-11-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/11 申请日:20141210
实质审查的生效
2016-08-10
公开
公开
2016-08-10
公开
公开
机译: 抗蚀剂下层膜形成用组合物,其包含在主链上具有三嗪环和硫原子的共聚物
机译: 包含在主链上具有三嗪环和硫原子的共聚物的抗蚀剂下层膜形成用组合物
机译: 抗蚀剂下层膜形成用组合物,其包含在主链上具有三嗪环和硫原子的共聚物