一种用于低应力低氧化处理的高温高真空退火装置

摘要

本发明涉及热处理装置领域，具体为一种用于低应力低氧化处理的高温高真空退火装置。本发明是通过下述技术方案实现的：一种用于低应力低氧化处理的高温高真空退火装置，包括真空箱和排真空装置组成，其特征是所述真空箱有内外三层组成，由内到外为真空处理箱、加热传热层、外密封舱，所述真空处理箱内设置有若干层退火架、退火架下方设置氮气管、液氮气管和冷水管，氮气管设置有氮气出气孔，液氮气管和冷水管为全密封管道，平行设置互不交叉或贴近，两者都贴设在退火架下方与退火架连接为一体。