一种自谐振射频功率源

摘要

本申请提供了一种自谐振射频功率源，包括：场效应管、功率耦合控制单元、频率选择单元、第一匹配电路、第二匹配电路及第三匹配电路；其中，所述场效应管、所述第一匹配电路、所述功率耦合控制单元、第二匹配电路、所述频率选择单元及所述第三匹配电路依次连接构成反馈环路；当所述反馈环路达到反馈深度和相位的条件时，所述场效应管自发大功率震荡，从而产生在需要工作频率范围内的功率信号。