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二维光子准晶宽区半导体激光器结构

摘要

本发明公开了一种二维光子准晶宽区半导体激光器结构,包括:一衬底;一下波导;一下限制层;一有源区;一上限制层;一上波导;一接触层;一钝化层;一正面电极;一背面电极;一制作于上限制层的二维光子准晶阵列,从接触层到下波导刻蚀出条形宽区台面,钝化层包覆整个台面并在台面顶端开出电注入窗口,上电极在钝化层之上,在电注入窗口区域与接触层形成欧姆接触用于电注入,同时为有源区提供散热通道;背面电极与衬底形成欧姆接触,用于另一极电注入。

著录项

  • 公开/公告号CN106025797B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-05-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;

    申请/专利号CN201610563190.7

  • 申请日2016-07-18

  • 分类号H01S5/223(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人汤保平

  • 地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

  • 入库时间 2022-08-23 10:33:01

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-05-17

    授权

    授权

  • 2016-11-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01S5/223 申请日:20160718

    实质审查的生效

  • 2016-11-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 5/223 申请日:20160718

    实质审查的生效

  • 2016-10-12

    公开

    公开

  • 2016-10-12

    公开

    公开

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