光学校正装置与光学校正方法

摘要

一种光学校正装置与光学校正方法，光学校正装置包括至少一发光量测模块以及一定位校正模块。至少一发光量测模块发出至少一入射光线至一定位校正片，其中定位校正片反射至少一入射光线而产生至少一反射光线。定位校正模块耦接至少一发光量测模块，以及接收至少一反射光线以产生关于至少一反射光线的至少一校正图案，并且对至少一校正图案进行量测与分析以校正至少一发光量测模块的倾斜角度偏差及/或平面错位偏差。