等离子体透镜、空气轴承、飞行头、纳米加工系统及应用

摘要

本发明提出了等离子体透镜、空气轴承、飞行头、纳米加工系统及其应用。该用于飞行头的等离子体透镜包括：基体，该基体的表面设置有金属薄膜；中心小孔，该中心小孔形成在基体的表面且贯穿金属薄膜；以及多个圆槽，该多个圆槽形成在基体的表面且贯穿金属薄膜，并且多个圆槽与中心小孔构成同心圆；其中，金属薄膜的厚度为30～100nm，多个圆槽的槽周期为300～400nm、槽宽度为100～200nm。本发明所提出的等离子体透镜，能够减小聚束光斑的同时增大光强，可使光刻加工的聚束光被限制在更小的范围内。