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单体、聚合物、有机层组成物、有机层及形成图案的方法

摘要

本发明提供一种同时确保耐蚀刻性和平坦化特征的单体、聚合物、有机层组成物、有机层及形成图案的方法,其中,本发明公开由化学式1表示的单体、由化学式2表示的聚合物、包含用于有机层的化合物(即单体、聚合物或其组合)的有机层组成物、由有机层组成物制造的有机层以及通过固化有机层组成物获得的有机层。化学式1和化学式2与具体实施方式中所定义的相同。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-05-21

    授权

    授权

  • 2016-06-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):C07C43/23 申请日:20151029

    实质审查的生效

  • 2016-06-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):C07C 43/23 申请日:20151029

    实质审查的生效

  • 2016-06-01

    公开

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  • 2016-06-01

    公开

    公开

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