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一种制备单层六方氮化硼大单晶的方法

摘要

本发明公开了一种制备大单晶六方氮化硼的方法。该方法包括:以含硼元素和氮元素的化合物为原料,在衬底上进行化学气相沉积,沉积完毕得到所述单层六方氮化硼单晶;所述化学气相沉积的体系中还含有泡沫材料。通过该方法可以简单、高效、环保的在金属衬底表面制备出高质量的大单晶六方氮化硼,且通过此方法首次在铂片表面得到大单晶六方氮化硼。

著录项

  • 公开/公告号CN107964680B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-05-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国人民大学;

    申请/专利号CN201610916379.X

  • 发明设计人 陈珊珊;应豪;王乐;

    申请日2016-10-20

  • 分类号

  • 代理机构北京纪凯知识产权代理有限公司;

  • 代理人关畅

  • 地址 100872 北京市海淀区中关村大街59号

  • 入库时间 2022-08-23 10:32:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-05-14

    授权

    授权

  • 2018-05-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B25/18 申请日:20161020

    实质审查的生效

  • 2018-05-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 25/18 申请日:20161020

    实质审查的生效

  • 2018-04-27

    公开

    公开

  • 2018-04-27

    公开

    公开

  • 2018-04-27

    公开

    公开

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