具有低线电阻结构的超高密度薄膜晶体管基板及制造方法

摘要

本发明涉及一种具有低线电阻结构的超高密度薄膜晶体管基板及制造方法，其具有在控制显示装置的像素的操作的栅极线、公共线、数据线中的一个或更多个中的降低的电阻。通过以在栅极线、公共线和/或数据线上形成附加金属层和/或金属合金层的这样的方式来获得减小的电阻，使得这些线的横截面积增加。因此，在对准层的摩擦工艺中不引起缺陷的情况下，每一个这样的线被形成为比其本来获得的厚度厚。此外，不需要加宽这些线，从而保持设备的开口率。栅极绝缘层和半导体层也可以被纳入到考虑增加线的厚度的设计中，栅极绝缘层和半导体层部分地构成帮助控制设备的像素的操作的薄膜晶体管。