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改性酚醛清漆型酚醛树脂、抗蚀材料、涂膜和抗蚀永久膜

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摘要

本发明提供一种显影性及耐热性优异的改性酚醛清漆型酚醛树脂、及其制造方法、感光性组合物、抗蚀材料和永久膜。改性酚醛清漆型酚醛树脂的特征在于，具有：下述结构式(1)〔式中，Ar为下述结构式(2‑1)或(2‑2)(式中k为0～2的整数，p为1～5的整数，q为1～7的整数，R

著录项

  • 公开/公告号CN105190439B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-05-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 DIC株式会社;

    申请/专利号CN201480015445.5

  • 发明设计人 今田知之;鹿毛孝和;

    申请日2014-01-21

  • 分类号

  • 代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人刘新宇

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2022-08-23 10:32:43

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-05-17

    授权

    授权

  • 2016-01-20

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/039 申请日:20140121

    实质审查的生效

  • 2016-01-20

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/039 申请日:20140121

    实质审查的生效

  • 2015-12-23

    公开

    公开

  • 2015-12-23

    公开

    公开

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