法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-21
授权
授权
2017-01-04
实质审查的生效 IPC(主分类):F16J15/324 申请日:20160829
实质审查的生效
2017-01-04
实质审查的生效 IPC(主分类):F16J 15/324 申请日:20160829
实质审查的生效
2016-12-07
公开
公开
2016-12-07
公开
公开
机译: 制造轴密封装置的方法和制造轴密封装置的装置,以及带有轴密封装置的旋转机械
机译: 旋转轴密封装置和使用该旋转轴密封装置和半导体衬底处理装置
机译: 具有新颖的轴密封装置的旋转阀和制造轴密封装置的方法