法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-30
授权
授权
2017-06-16
实质审查的生效 IPC(主分类):B08B1/02 申请日:20161215
实质审查的生效
2017-06-16
实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 1/02 申请日:20161215
实质审查的生效
2017-05-24
公开
公开
2017-05-24
公开
公开
机译: 一种用于清除等离子体处理室中残留物的等离子体清洁方法,以去除等离子体处理室中的残留物
机译: 一种用于清除等离子体处理室中残留物的等离子体清洁方法。
机译: 可现场监测的等离子体刻蚀装置,其现场监测方法和现场清除方法,用于清除等离子体刻蚀室中的残留物