公开/公告号CN106067775B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-26
原文格式PDF
申请/专利权人 四川明德亨电子科技有限公司;
申请/专利号CN201610528937.5
申请日2016-07-06
分类号
代理机构烟台上禾知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘志毅
地址 646300 四川省泸州市纳溪区蓝安路三段3号
入库时间 2022-08-23 10:31:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-26
授权
授权
2019-04-26
专利申请权的转移 IPC(主分类):H03H 3/02 登记生效日:20190408 变更前: 变更后: 申请日:20160706
专利申请权、专利权的转移
2016-11-30
实质审查的生效 IPC(主分类):H03H3/02 申请日:20160706
实质审查的生效
2016-11-30
实质审查的生效 IPC(主分类):H03H 3/02 申请日:20160706
实质审查的生效
2016-11-02
公开
公开
2016-11-02
公开
公开
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机译: 用于制造半导体装置的曝光系统的电容计跟踪装置,使用该电容计跟踪装置的半导体装置的表面跟踪方法,包括该跟踪装置的整平装置以及整平方法
机译: 气体团簇离子束对固体表面的整平方法及固体表面整平装置
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