有机硅烷激光气相合成硅基超细粉

摘要

一种激光气相合成硅基超细粉的方法，其特征在于：以有机硅烷为主体反应物，以氢和/或氨为附加反应气，在下述工艺条件下：激光功率密度(P)：500～6000W/cm²，反应压力(Pe):0.2～1atm，反应总气流量(Φt):1200～6000cm³/min，反应时间(t):0.2～4ms，反应温度(T):600～1800℃，合成硅基超细粉。用该方法可大幅度降低成本，高质量地合成硅基超细粉。