法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-03
授权
授权
2017-08-29
实质审查的生效 IPC(主分类):G01D5/353 申请日:20170331
实质审查的生效
2017-08-29
实质审查的生效 IPC(主分类):G01D 5/353 申请日:20170331
实质审查的生效
2017-08-04
公开
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2017-08-04
公开
公开
2017-08-04
公开
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机译: 测量光纤MEMS压力传感器F-P腔中残余压力的系统和方法
机译: 用于制造光纤谐振腔的方法,特别是用于以这种方式生产的传感器干涉测量仪和光纤谐振腔的制造方法
机译: 尤其是用于干涉式传感器的光纤谐振腔的制造方法以及由此产生的光纤谐振腔