生产具有半导体或绝缘体的金属复合团簇的方法及装置

摘要

通过在第一溅射腔室10中溅射靶11U、11D产生半导体或绝缘体蒸气，同时通过在第二溅射腔室20中溅射靶21U、21D产生金属蒸气。在经过团簇成长管32移动和作为团簇流注射至高沉积腔室30的过程中，半导体或绝缘体蒸气和金属蒸气聚集成团簇，从而沉积复合团簇于基底35之上。生产出的复合团簇由于高性能在各种领域是有用的，例如高敏感性传感器、高密度磁记录介质、用于医药传输的纳米磁介质、催化剂、选择性透过膜、光磁传感器和低损耗软磁材料。